적용 기술 :
고속 · 고정밀 보간 제어 선형 풀 클로즈드 제어 탠덤 제어
용도 사례 :
반도체 제조 장치, 구현 기계, 공작 기계 교체
데모 내용 :
다이렉트 드라이브 모터와 리니어 서보 모터 및 회 전형 서보 모터를 간단 모션 유닛 MR-J4 서보 앰프에서 고속 · 고정밀도에 직선 원호 보간 제어, 동기 제어합니다.
사용 기기 | |
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리니어 구동 X축 | 리니어 서보 모터 LM-H3P3A-12P-CSS0(1차측 코일) LM-H3S30-384-CSS0(2차측 자석) |
리니어 구동 Y축 (Y1축, Y2축) |
리니어 서보 모터 LM-H3P3B-24P-CSS0(1차측 코일) LM-H3S30-480-CSS0(2차측 자석) |
상하 Z축 (Z1축, Z2축, Z3축) |
서보 모터 HG-AK0336B |
턴테이블(Θ축) | 다이렉트 드라이브 모터 TM-RFM002C20 |
컨트롤러 | 심플 모션 유닛 RD77MS8 |
서보 앰프 | 2축 일체형 서보 앰프(X축, Θ축) MR-J4W-44B 2축 일체형 서보 앰프(Y1축, Y2축) MR-J4W-77B 기판 타입 3축 일체형 서보 앰프(Z1축, Z2축, Z3축) MR-MD213 |