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제품정보

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사례집

반도체ㆍ액정 분야

세정 장치에 대한 웨이퍼 공급ㆍ횟수


로봇 : RV-12SQC

클린 사양의 수직 다 관절 형 6 축 로봇을 적용하고 세정 장치에 12 인치 웨이퍼 공급 · 회수 작업