반도체

이중화 시스템을 통해 순수 공급·배수 처리·가스 공급 설비 등의 고신뢰화를 실현합니다.
한쪽 PLC의 다운으로 인한 제어 정지를 방지하고, 안전하게 제조 운전을 계속합니다.

시스템 구성