현장의 과제를 완벽하게 해결!

비전 시스템에서 쉽게 웨이퍼의 현재 위치를 읽을 수 있으므로, 목표 위치를 보정하여 신속하게 이동할 수 있습니다.

회전축에 다이렉트 드라이브 모터를 사용함으로써, 고응답 , 고정밀도로 안정된 위치결정을 실현합니다.
저속 회전, 고토크에서의 사용에도 적합합니다.

위치결정 중에 비전 시스템의 위치 데이터에서 위치 보정할 때, 다시 위치결정 기동하지 않고 목표 위치로 이동할 수 있으므로 택-타임이 단축됩니다.

모델 시스템

기기 구성